金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“穿墙式边缘曝光单元和涂胶显影设备”的专利，公开号CN120020646A杠杆配资开户网，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供穿墙式边缘曝光单元和涂胶显影设备，该穿墙式边缘曝光单元应用于涂胶显影设备，包括：传送手指、伸缩臂、升降组件、多轴联动平台、边缘曝光组件和主控系统；所述传送手指用于装载晶圆，所述伸缩臂用于驱动装载晶圆的传送手指向所述升降组件运动；所述升降组件用于装载并支撑晶圆下降，以使晶圆装载到多轴联动平台；所述多轴联动平台用于带动晶圆运动至所述边缘曝光组件直至边缘曝光工艺结束；所述边缘曝光组件用于对晶圆的边缘进行曝光处理；所述伸缩臂、升降组件、多轴联动平台和边缘曝光组件均与所述主控系统电连接。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20096.6966万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目302次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息604条，此外企业还拥有行政许可63个。
本文源自：金融界
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